半導体プロセス用の高機能ガラス
半導体製造に不可欠な、合成石英ガラスを製造しています。日進月歩の半導体プロセスに適し、さまざまな光学部材に使われている高純度・高透過率・高均質性を誇る高機能ガラスです。
使用用途
- 半導体露光機用レンズ
- 液晶露光用レンズ
- フォトマスク基板
- ガラスウェハ
- その他光学部材
特徴
深紫外線から赤外線に至る幅広い波長の光に対する高透過率、高屈折率均質性、低複屈折率、高耐熱性、低熱膨張率、高エネルギーレーザーに対する優れた耐久性等、様々な特色のある合成石英ガラスです。